4D形貌测试 数字全息显微镜DHM®助您探索四维世界

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DHM®独一无二的4D形貌测试能力为您重新定义行业标准

  • 无与伦比的图像采集速度
  • 原位在线过程表征
  • 所有倍率下亚纳米垂直分辨率

时间分辨动态轮廓仪

高达1000 帧/秒的动态形貌时序图

  • 静态 & 动态形貌分析
  • 对外加激励实时响应
  • 气体、液体、真空或透过玻璃等多环境测量

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全息MEMS测振分析仪

MEMS振动可测频率高达25 MHz

  • 同步测量面内 & 离面运动
  • 非扫描全视场量测
  • 模态瞬态分析、频域分析

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4D反射测量仪

表征透明/半透明形貌

  • 测量厚度从10纳米至几十微米
  • 可测最高三层透明薄膜
  • 测量薄膜折射率

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高速光学三维质量检测仪

在线检测速度最快可达 15 厘米/秒

  • 无惧振动
  • 无需校准
  • 高速测量

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